氦質譜檢漏儀是一種基于質譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內，使其內部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理，以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內的質譜儀中進行分析，通過檢測氦氣分子的質量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。
以下是使用氦質譜檢漏儀的一般步驟：
1、準備工作
確保氦質譜檢漏儀處于正常工作狀態(tài)，檢查設備各部件是否完好。
準備氦氣瓶并連接到氦氣充填系統(tǒng)。
打開檢漏儀的電源，等待設備預熱并達到工作狀態(tài)。
2、設置參數(shù)
在控制面板或計算機軟件上設置檢測參數(shù)，如氦氣流量、檢測靈敏度等。
確保質譜儀的工作參數(shù)正確設置，如質譜范圍、掃描速度等。
3、準備待檢測系統(tǒng)
將待檢測系統(tǒng)或容器放置在樣品室中，并確保密封良好。
連接待檢測系統(tǒng)與氦氣充填系統(tǒng)，確保氦氣可以進入系統(tǒng)內部。
4、開始檢測
打開氦氣充填系統(tǒng)，讓氦氣進入待檢測系統(tǒng)。
啟動質譜儀，開始檢測待檢測系統(tǒng)中的氦氣濃度。
監(jiān)控質譜儀顯示的氦氣濃度數(shù)據，尋找可能的泄漏點。
5、定位泄漏點
移動氦氣檢測探頭，逐步對系統(tǒng)各部分進行檢測。
當質譜儀顯示氦氣濃度升高時，表明可能存在泄漏點，需停止移動探頭并進行確認。
6、確認泄漏點
確認泄漏點的位置后，可以使用其他方法進行修復，如密封漏點或更換損壞部件。
重新進行泄漏檢測，確保泄漏問題已解決。
7、結束操作
關閉氦氣充填系統(tǒng)和質譜儀，斷開連接。
關閉氦氣瓶，確保系統(tǒng)內氦氣排空。
關閉檢漏儀的電源，進行設備的清潔和維護工作。
8、記錄和報告
記錄檢測過程中的參數(shù)設置、檢測結果等信息。
根據檢測結果生成檢測報告，包括泄漏點位置、泄漏量等信息。
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